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    高純氣體輸送系統中氣體與管道的關系

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    高純氣體輸送系統中氣體與管道的關系

    發布日期:2022-03-18 作者: 點擊:

      高純氣配管技術是高純氣體供氣系統的重要組成部分,是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點仍保持質量合格的關鍵技術;所謂高純氣配管技術包括系統的正確設計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內容。近年來以大規模集成電路為代表的微電子產品生產對高純氣體的純度和雜質含量的日益嚴格的要求,使高純氣體的配管技術日益受到關注和重視。以下是針對高純氣體輸送從選材到施工以及驗收、日常管理的概述。

      常見氣體的種類

      電子行業中常見氣體的分類:

      普通氣體,也稱大宗氣體(Bulkgas):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等;

      特種氣體(Specialtygas)主要有:SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3、POCL3、SIH2CL2、SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等;

      特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半導體氣體分類如下:

      1、腐蝕性/毒性:HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3…等;

      2、可燃性:H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…

      3、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3…等;

      4、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等。

      半導體氣體很多是對人體有害的。特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性,只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應,開始燃燒;還有AsH3的劇毒性,任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害,也就是因為這些顯而易見的危險,所以對于系統設計安全性的要求就特別高。

      氣體的應用范圍

      氣體產品作為現代工業重要的基礎原料,應用范圍十分廣泛,在冶金、鋼鐵、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫藥醫療等部門,均使用大量的常用氣體或特種氣體。氣體應用,特別對這些領域的高新技術有重要的影響,是其不可缺少的原料氣或工藝氣。也只有各種新興工業部門和現代科學技術的需要和推動,氣體工業產品才能在品種、質量和數量等方面得到飛躍發展。

      氣體在微電子、半導體行業中應用

      氣體的使用在半導體制程中一直扮演著重要的角色,特別是半導體制程目前已被廣泛的應用于各項產業,凡舉傳統的ULSI、TFT-LCD到現在的微機電(MEMS)產業,皆以所謂的半導體制程為產品的制造流程,其中的制程包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當多的氣體,而氣體的純度則對組件性能、產品良率有著決定性的影響,氣體供應的安全性則關乎人員的健康與工廠運作的安全。

    高純氣體

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    關鍵詞:高純氣體,煙臺高純氣體,煙臺氣體

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